行为
硬件咨询 #2140
打开EUV光谱诊断设备--中科大
开始日期:
2026-07-11
计划完成日期:
% 完成:
0%
预期时间:
完结状态:
未成单
描述
光谱覆盖5-20nm
分辨率0.027nm@13.5nm
略入射角度 3-5度
真空度10-5pa
时间分辨不重要10us积分就可以
探测器灵敏度 snr 大于20db
需要找下市面上是否有满足以上条件的设备
行为
由 单文惠 在 大约 2 个月 之前添加. 更新于 大约 2 个月 之前.
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描述
光谱覆盖5-20nm
分辨率0.027nm@13.5nm
略入射角度 3-5度
真空度10-5pa
时间分辨不重要10us积分就可以
探测器灵敏度 snr 大于20db
需要找下市面上是否有满足以上条件的设备