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硬件咨询 #2140

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EUV光谱诊断设备--中科大

由 单文惠 在 大约 2 个月 之前添加. 更新于 大约 2 个月 之前.

状态:
已反馈
优先级:
B级
指派给:
单文惠
开始日期:
2026-07-11
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
完结状态:
未成单

描述

光谱覆盖5-20nm
分辨率
略入射角度 3-5度
真空度10-5pa
时间分辨不重要10us积分就可以
探测器灵敏度 snr 大于20db

需要找下市面上是否有满足以上条件的设备

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 #1

由 薛立京 更新于 大约 2 个月 之前

  • 状态 从 新建 变更为 评估中
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 #2

由 薛立京 更新于 大约 2 个月 之前

  • 状态 从 评估中 变更为 已反馈
  • 指派给 从 薛立京 变更为 单文惠

弄不了。全世界应该不超过3个厂家有商业产品。禁售必然锁死。
非要弄就得去长光所或者上光所找关系研究谁能做。

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