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硬件咨询 #1551
打开光刻系统
由 宁欣洋 在 6 个月 之前添加. 更新于 3 个月 之前.
开始日期:
2026-05-08
计划完成日期:
% 完成:
0%
预期时间:
0:30 小时
完结状态:
描述
目前姐写结构已经完成，紫外光源评估进度，请紧密跟踪，给我结果，期望本月能给我一个结果。如果不行，请告知我具体情况。
文件
| 光刻系统.STEP (17.5 MB) 光刻系统.STEP | 薛立京, 2026-03-27 15:43 | ||
| 光刻系统示意图.pdf (89.7 KB) 光刻系统示意图.pdf | 薛立京, 2026-03-27 15:43 | ||
| 光源.png (133 KB) 光源.png | 薛立京, 2026-03-27 15:43 | ||
| 光刻系统.html (20.9 MB) 光刻系统.html | 薛立京, 2026-03-27 15:43 | ||
| clipboard-202604071031-qyu2h.png (169 KB) clipboard-202604071031-qyu2h.png | 宁欣洋, 2026-04-07 10:31 | ||
| 6abc2363de42351ed97941d3698ee82.png (333 KB) 6abc2363de42351ed97941d3698ee82.png | 可以 | 薛立京, 2026-04-14 13:24 | |
| 0ccfae36fd534ea87cbde18a2be4a3b.png (340 KB) 0ccfae36fd534ea87cbde18a2be4a3b.png | 不可以 | 薛立京, 2026-04-14 13:24 | |
| 方案及周期.docx (568 KB) 方案及周期.docx | 宁欣洋, 2026-04-17 11:46 | ||
| 方案及周期.docx (116 KB) 方案及周期.docx | 薛立京, 2026-04-18 16:48 | ||
| 方案及周期-4.20（补充）.docx (120 KB) 方案及周期-4.20（补充）.docx | 薛立京, 2026-04-20 17:29 |
由 宁欣洋 更新于 5 个月 之前
- 文件 clipboard-202604071031-qyu2h.png clipboard-202604071031-qyu2h.png 已添加
- 指派给 从 宁欣洋 变更为 薛立京
帮我确认一下，光刻系统的紫外光源可完成的大致指标是不是这些，尺寸定制成400400400mm。
这几天客户会确认手套箱是否可以方的下，在高度632mm的时候，深度是否够400mm
确认完这件事情，预计会安排线上的会议讨论，参与成员需方有项目负责人，还有顾畅。
由 薛立京 更新于 5 个月 之前
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- 状态 从 缺少信息 变更为 更新
第一个可以，第二个不可以。第一个已经实际算出来均匀性是98%以上了，第二个这个差不多是80%
由 宁欣洋 更新于 5 个月 之前
- 文件 方案及周期.docx 方案及周期.docx 已添加
- 指派给 从 宁欣洋 变更为 薛立京
对光刻系统进行完整的实现说明：（除光源本身属性）但包含光源与机械结构实现同轴与定位说明
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