行为
硬件咨询 #1775
打开硬件咨询 #1551: 光刻系统
光刻子任务-寻找50倍和20倍物镜
开始日期:
2026-05-08
计划完成日期:
% 完成:
0%
预期时间:
完结状态:
未成单
描述
现货的，视场大小最好能满足3*3um
物镜接口与探针台镜头的接口一样M26应该是
查一下，下周客户的样品到咱们这，需要在50倍和20倍下看一下效果。能否看清掩模版和晶圆的对准。
样品到了之后，先用10 倍的看一下。
文件
行为
硬件咨询 #1551: 光刻系统
由 宁欣洋 在 4 个月 之前添加. 更新于 4 个月 之前.
0%
描述
现货的，视场大小最好能满足3*3um
物镜接口与探针台镜头的接口一样M26应该是
查一下，下周客户的样品到咱们这，需要在50倍和20倍下看一下效果。能否看清掩模版和晶圆的对准。
样品到了之后，先用10 倍的看一下。
文件