硬件咨询 #1551
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由 宁欣洋 在 6 个月 之前添加.
更新于 3 个月 之前.
描述
目前姐写结构已经完成，紫外光源评估进度，请紧密跟踪，给我结果，期望本月能给我一个结果。如果不行，请告知我具体情况。
文件
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光刻系统.STEP (17.5 MB)
光刻系统.STEP |
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薛立京, 2026-03-27 15:43
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光刻系统示意图.pdf (89.7 KB)
光刻系统示意图.pdf |
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薛立京, 2026-03-27 15:43
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光源.png (133 KB)
光源.png |
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薛立京, 2026-03-27 15:43
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光刻系统.html (20.9 MB)
光刻系统.html |
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薛立京, 2026-03-27 15:43
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clipboard-202604071031-qyu2h.png (169 KB)
clipboard-202604071031-qyu2h.png |
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宁欣洋, 2026-04-07 10:31
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6abc2363de42351ed97941d3698ee82.png (333 KB)
6abc2363de42351ed97941d3698ee82.png |
可以 |
薛立京, 2026-04-14 13:24
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0ccfae36fd534ea87cbde18a2be4a3b.png (340 KB)
0ccfae36fd534ea87cbde18a2be4a3b.png |
不可以 |
薛立京, 2026-04-14 13:24
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方案及周期.docx (568 KB)
方案及周期.docx |
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宁欣洋, 2026-04-17 11:46
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方案及周期.docx (116 KB)
方案及周期.docx |
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薛立京, 2026-04-18 16:48
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方案及周期-4.20（补充）.docx (120 KB)
方案及周期-4.20（补充）.docx |
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薛立京, 2026-04-20 17:29
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光源本月不能给出结果，曹经理反馈，厂家那边需确认，预计需要1-2周。
具体情况如下：光学参数都能满足，目前就在机械尺寸上拉扯，因为我们尺寸太极限了，所以厂家在获得我们详细尺寸信息后再看他们能不能设计成那么小。他们回复比较慢，基本每次更新情况都得两三天。但是情况现在完全明确了，也没有说不能做。
光源本月不能给出结果，曹经理反馈，厂家那边需确认，预计需要1-2周。
具体情况如下：光学参数都能满足，目前就在机械尺寸上拉扯，因为我们尺寸太极限了，所以厂家在获得我们详细尺寸信息后再看他们能不能设计成那么小。他们回复比较慢，基本每次更新情况都得两三天。但是情况现在完全明确了，也没有说不能做。
- 计划完成日期 从 2026-03-31 变更为 2026-04-09
光刻机光源厂家评估结果：尺寸没有问题，但公司的意思是可以先把商务大概确定下来，然出具体的技术要求和我们对接。前期花人工会多。
一套的价格大概在15万左右，含税
光源的折叠方案的实现需要简单的文字说明。还有根据我们要求的尺寸能否出一个示意图。
光源模组发出的光线，经平面反射镜、曲面反射镜，平行发出。（参考光源结构图）
光刻系统大致结构如三维图，具体细节，经确认后补充
帮我确认一下，光刻系统的紫外光源可完成的大致指标是不是这些，尺寸定制成400400400mm。
这几天客户会确认手套箱是否可以方的下，在高度632mm的时候，深度是否够400mm
确认完这件事情，预计会安排线上的会议讨论，参与成员需方有项目负责人，还有顾畅。
图里是他们标准品。实际这次可完成的光学参数完全按客户要求做，属于纯定制产品
波长365nm
光斑尺寸覆盖75*75mm区域
光功率密度不低于50mW/cm2
发散半角优于3°
均匀度优于97%
具体尺寸厂家那边没有给确认，光评估说没问题，让咱们签合同
- 指派给 从 宁欣洋 变更为 薛立京
- 预期时间 被设置为 0:30 小时
我需要紫外光源均匀性示意图，哪种均匀性可以，哪种不可以
第一个可以，第二个不可以。第一个已经实际算出来均匀性是98%以上了，第二个这个差不多是80%
- 状态 从 评估中 变更为 已反馈
- 指派给 从 薛立京 变更为 宁欣洋
咱们明天上午还是9:30开始，晚上我会发给您会议链接。
第一部分：光源需求（按照文档要求）主要讲辐照面均匀性10分钟（主讲王乐）
第二部分：光源同轴设计10分钟（主讲薛立京）
第三部分：结构优化10分钟（主讲薛立京、宁欣洋）
第四部分：讨论提问20分钟
按照这个步骤和节奏。
对光刻系统进行完整的实现说明：（除光源本身属性）但包含光源与机械结构实现同轴与定位说明
光刻系统机械部分及显微成像部分
5.27客户来现场提出问题：
1.位移台验证问题：微分头移动的级别没问题，但检测不一定准，需要在微米级别要有所体现，可以用标准板方法来验证。
2.显微镜验证问题：显微镜震动及对焦问题要解决，相对准确移动到某一位置要看的请看得准。
3.透明基底问题：透明基底看不出来，需解决。
4.技术要求与指标制定。客户那边提供，我们要有所数据体现。
5.物镜倍数可以再大一些，在屏幕里横竖七八个网格，像素级别几十个，看起来会更好。
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