硬件咨询 #1851
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由 宁欣洋 在 4 个月 之前添加.
更新于 3 个月 之前.
描述
两个事情：
- 现场看一下咱们的设备或者相关设备；
- 针对之前提出的显微镜分辨遍和位移台移动精度，实际看一下显微镜和位移台
客户来现场的时间是下周3，27号。机械、采购，请持续跟进。下周三之前必须准备好。
有什么问题提出来
这个部分的硬件搭建，需要在周2 晚上之前给搭建好。在不包含显微成像的基础上。
这部分有什么问题，请直接找我沟通需求。
- 状态 从 评估中 变更为 已反馈
- 指派给 从 索鹏鑫 变更为 宁欣洋
光刻系统机械部分及显微成像部分
5.27客户来现场提出问题：
1.位移台验证问题：微分头移动的级别没问题，但检测不一定准，需要在微米级别要有所体现，可以用标准板方法来验证。
2.显微镜验证问题：显微镜震动及对焦问题要解决，相对准确移动到某一位置要看的请看得准。
3.透明基底问题：透明基底看不出来，需解决。
4.技术要求与指标制定。客户那边提供，我们要有所数据体现。
5.物镜倍数可以再大一些，在屏幕里横竖七八个网格，像素级别几十个，看起来会更好。
1.抖动问题：环境导致抖动问题
2.无法聚焦问题：样品图案刻画太浅，很难聚焦
3.透明基底样品观测不到问题：也是样品图案刻画太浅，很难聚焦
4.透过掩模版观测不到样品图案问题：掩模版问题，透不过去
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