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硬件咨询 #2001
打开硅基片镀DBR反射膜-文桂晗
开始日期:
2026-06-16
计划完成日期:
2026-06-23 (大约 3 个月 延期)
% 完成:
0%
预期时间:
完结状态:
未成单
描述
我总结一下需求
1、希望在77mm尺寸的硅片上做DBR高反膜，且希望镀膜前后抽检，实现该图片的表面洁净度。
2、一次先实验读个5-7片，其他的位置全部用你们1英寸的硅基片做DBR镀膜。
3、镀77的同时还能镀多少1英寸硅基
4、想知道摸具费用？最终检查+一锅膜的费用是多少？
文件
由 宁欣洋 更新于 3 个月 之前
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- 计划完成日期 从 2026-06-18 变更为 2026-06-23
- 指派给 从 宁欣洋 变更为 薛立京
就是DBR要这个效果，指标：T<0.2%@700-800nm R<40%@633nm，硅片的厚度是0.5mm<100>/<110><110>,dia50.8x0.5mm,单面抛光(R:0.1~0.5Ω2.cm)这个型号的，0°入射
[图片]
样品大概就是这样，77mm尺寸的SiO2，中间有高度为200um左右的凸台，这个微结构在凸台上，凸台在10x镜下的情况如上所示
[图片]
就是77mm的SiO2有微结构的样品是我们主要想蒸镀的，然后剩余的空间我们想用Si片填上，我们之前使用的Si片的参数是0.5mm<100>/<110><110>,dia50.8x0.5mm,单面抛光(R:0.1~0.5Ω2.cm)；所有的关于DBR的要求都是垂直入射的要求
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